放熱
電気抵抗から発生する熱を効率的に逃がす製品です。
熱交換
熱交換媒体となって、対象物の温度コントロールを行うのに役立ちます。
冷却
半導体製造装置のエッチング工程において、ウエハーを冷却します。
加熱
半導体製造装置の成膜工程において、化学反応を促進するため、ウエハーを加熱します。
電気抵抗から発生する熱を効率的に逃がす製品です。
熱交換媒体となって、対象物の温度コントロールを行うのに役立ちます。
半導体製造装置のエッチング工程において、ウエハーを冷却します。
半導体製造装置の成膜工程において、化学反応を促進するため、ウエハーを加熱します。