半導体検査装置部品
(コンタクトプローブ関連製品)
Components For Semiconductor Inspection Equipment
Inspection characteristics
検査特性
狭ピッチ
![109狭ピッチ](https://www.nhkspg.co.jp/hubfs/nhkspg.co.jp/images/products/microcontactor/109%E7%8B%AD%E3%83%94%E3%83%83%E3%83%81.jpg)
狭ピッチユニット
主に200μmピッチ以下の半導体テストユニットを指し、半導体組み立て前のウエハーテスト用検査治具に用いられます。プローブ先端位置、突出量に精度が必要であり、設計・製造には高い技術が求められますニッパツではプローブヘッドと呼ばれるプローブ保持部を製作しております。
高周波
![電磁界解析ソフト(HFSS)](https://www.nhkspg.co.jp/hubfs/nhkspg.co.jp/images/products/production%20data/%E9%9B%BB%E7%A3%81%E7%95%8C%E8%A7%A3%E6%9E%90%E3%82%BD%E3%83%95%E3%83%88(HFSS).jpg)
電磁界解析ソフト(HFSS)
![inspection_characteristics_02](https://www.nhkspg.co.jp/hubfs/nhkspg.co.jp/images/products/production%20data/inspection_characteristics_02.jpg)
多ピン解析(例)
![inspection_characteristics_03](https://www.nhkspg.co.jp/hubfs/nhkspg.co.jp/images/products/production%20data/inspection_characteristics_03.jpg)
通過特性(S21)
![inspection_characteristics_04](https://www.nhkspg.co.jp/hubfs/nhkspg.co.jp/images/products/production%20data/inspection_characteristics_04.jpg)
反射特性(S11)
![inspection_characteristics_01](https://www.nhkspg.co.jp/hubfs/nhkspg.co.jp/images/products/production%20data/inspection_characteristics_01.jpg)
TDR
20GHz以上の高周波測定では測定治具の影響も無視出来なくなるため、専用の測定治具を自社開発して測定することで、測定時の影響を最小限に抑えています。
測定と解析の結果は一致しており、お客様から高く評価されています。
測定、解析したTouch stone file (.sNp)を送付することも可能ですので、お客様自身で周辺デバイスと接続したときの波形やEye-Patternを確認することが出来ます。
GND-Signal-GND配列の測定、解析を基本としていますが、多ピンやX-talkの解析もお客様の要望に合わせて柔軟に対応しております。
プローブは周辺デバイスの影響を受けるため、お客様の基板のインピーダンスと一致させることが重要になります。お客様から基板の情報をいただいて、プローブのインピーダンスを近づけることも可能ですので、ぜひご相談ください。