ステージヒータ（半導体プロセス部品）
半導体製造の成膜装置において、高精度な温度管理に貢献します。
冷却板（半導体プロセス部品）
半導体製造のエッチング工程で主に使用される静電チャック向け冷却板です。半導体基板の温度を高精度で制御します。
シャワーヘッド（半導体プロセス部品）
半導体製造の成膜やエッチングなどの工程で、半導体基板上にプロセスガスを供給する製品です。
半導体製造の成膜装置において、高精度な温度管理に貢献します。
半導体製造のエッチング工程で主に使用される静電チャック向け冷却板です。半導体基板の温度を高精度で制御します。
半導体製造の成膜やエッチングなどの工程で、半導体基板上にプロセスガスを供給する製品です。