ステージヒータ（半導体プロセス部品）
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製品名
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ステージヒータ（半導体プロセス部品）
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製品カテゴリ
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半導体プロセス部品
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業界・使用シーン
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情報通信関連・半導体製造装置
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機能
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加熱
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概要
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半導体製造の成膜装置において、高精度な温度管理に貢献します。
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特徴
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小径金属シースヒータエレメントを接合により内蔵し、使用用途に合わせた自由度の高い温度制御やレイアウトを実現しています。複数ゾーンの設定やそれぞれのゾーンの温度制御、等温保持から温度勾配制御まで、あらゆる目的に利用できます。
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